測定環境をモニタリングする温度・湿度センサーを内蔵した走査型プローブ顕微鏡（SPM)の新モデルを発売開始　東陽テクニカ

東陽テクニカ（社長＝五味 勝氏）はこのほど米国AgilentTechnologies社の新型走査型プローブ顕微鏡“7500型SPMシステム”を発売した。この製品は、7500型SPMシステムは、ハイエンドSPMに求められる測長性能と高分解能測定性能に加え、温度や湿度等の測定環境を監視する機能を備えたSPM。

SPMは、表面観察・物性評価装置として、高分子やセラミクスなどの材料研究分野や半導体、電子デバイスの研究開発・品質管理･故障解析、溶液中における生体試料の観察などに至るまで、幅広く利用されている。その多くは大気中で利用されおり、主に空調管理された部屋に設置されているが、実験中の測定環境はモニターされておらず、試料表面の形状や物性が変化しても、それが試料自体によるものなのか、それとも測定環境の変化によるものなのかが曖昧であった。

この曖昧な点を明確にするため、7500型SPMシステムには測定環境を整えるための”環境チャンバー”と測定環境をモニターする”湿度・温度センサー”を標準装備した。これによりユーザは、SPMによって得られた測定結果が試料由来なのか、もしくは湿度や温度などの測定環境によるものなのかを判断しやすくなり、より定量的な表面分析が可能となる。

また、湿度などを制御しながら試料表面の変化を捉えることもできるようになり、試料の環境依存性を評価することが可能となる。